Die Leuchte für Reinraumklassen mit turbulenter Mischströmung im Bereich der Photolitographie

Bei MicroChemicals (Hersteller von Photoresisten für die Lithografie) heißt es: um zu gewährleisten, dass ein belacktes Substrat mehrere Stunden im Gelblicht liegen kann ohne dass die Lackschicht ungewollt belichtet wird, müssen Wellenlängen < 500nm durch einen entsprechenden optischen Filter unter die Nachweisgrenze (< 0,001 %) geblockt werden. Dies ist nur mit einer speziellen Kunststoff-Gelblichtscheibe möglich. Gleichzeitig sollte dieser Gelblichtfilter oberhalb von 520nm Wellenlänge, also im Bereich des Empfindlichkeits- und Emissionsmaximums für das menschliche Auge (bei 546nm) möglichst transparent sein. Nur unter diesen Bedingungen kann ein Gelbraum optimal, wirtschaftlich ausgeleuchtet werden ohne, dass die Fotolackprozessierung beeinflusst wird.

Der Test mit unserer LED-Teardropleuchte mit Gelblicht hat alle Anforderungen der Institute in Aachen und Freiburg voll erfüllt.

Im Freiburger Institut wurden 13 LED-Teardropleuchten mit Gelblicht im direkten Vergleich zu oben genannten Kriterien geprüft. Die Fischer LED-Teardropleuchte mit Gelblicht hat als einzige Leuchte die Prüfung vollumfänglich bestanden. Unsere LED-Teardropleuchten die in Gelblicht und Weißlicht erhältlich sind gibt es in unterschiedlichen Leistungsstärken und Längen.
Eine Auslegung der Leuchten erfolgt Projektspezifisch und Deckensystemabhängig.

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